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⒈ ULVAC機工生產(chǎn)的系列干式膜片型真空泵，是通過橡膠膜片的往返運動達到真空。 ⒉ 膜片型干式真空泵不同于油旋片式真空泵，無需油霧過濾，能保持環(huán)境清潔，保養(yǎng)方便。

⒈ ULVAC機工生產(chǎn)的系列干式膜片型真空泵，是通過橡膠膜片的往返運動達到真空。 ⒉ 膜片型干式真空泵不同于油旋片式真空泵，無需油霧過濾，能保持環(huán)境清潔，保養(yǎng)方便。

⒈ ULVAC機工生產(chǎn)的系列干式膜片型真空泵，是通過橡膠膜片的往返運動達到真空。 ⒉ 膜片型干式真空泵不同于G系列直聯(lián)型油旋片式真空泵，無需油霧過濾，能保持環(huán)境清潔， 保養(yǎng)方便。

◇各個接觸排氣氣體的部件都有PTEE制成 ◇適用于腐蝕性氣體或有機溶液 ◇真空度高，能抽至1000Pa